| | AWM3100V | AWM3150V | AWM3200V | AWM3300V | ||
| 流量范圍（span） | +200sccm | +30sccm | | +1000sccm | ||
| 壓力范圍（psi） | | | | | ||
| （參照附錄） | | | ±2.0”水柱 | | ||
| 輸出電壓 | 5VDC@ | 3.4VDC@ | 5VDC@ | 5VDC | ||
| @ 標定點 | 200sccm | 25sccm | 2”水柱 | 1000sccm | ||
| 零點電壓 | 1.00±0.05VDC | 1.00±0.1VDC | 1.00±0.08mV | 1.00±0.1VDC | ||
| 零點漂移 | | | | | ||
| +25~-25?C | ±25mV | ±100mV | ±25mV | ±25mV | ||
| +25~+85?C | | | | | ||
| 輸出電壓漂移 | | | | | ||
| Max | | | | | ||
| +25~-25?C | -4% 讀數 | ±5.0% 讀數 | +24.0% 讀數 | -5% 讀數 | ||
| +25~+85?C | +4% 讀數 | ±5.0% 讀數 | -24.0% 讀數 | +5% 讀數 | ||
| 重復性& 遲滯Max | ±0.5% 讀數 | ± 1% 讀數 | ±0.5% 讀數 | ±1% 讀數 | ||
| | Min Typ. | Max. | | |||
| 電源（VDC） | 8.0 10±0.01 | 15 （2） | | |||
| 功耗（mW） | 50 | 60 | | |||
| 反應時間（ms） | 1.0 | 3.0 （1） | | |||
| 共模壓力（psi） <, /TD> | | 25 | | |||
| 工作溫度 | -25~85?C | | | |||
| 儲存溫度（?C） | -40~90?C | | | |||
| 沖擊（5drops,6axis） | 100g峰值（5drops,6axis） | | | |||
| 推薦型號 | 量程 |
| AWM3100V | +200SCCM |
| AWM3201CR | ±0.5 英寸水 |
| AWM3200V | ±2 英寸水 |
| AWM3300V | +1000SCCM |
微橋氣流質量傳感器是基于氣流流過傳感元件的熱傳輸工作原理，傳感器輸出電壓正比于流過內部傳感元件的進出口的空氣或其他氣體質量。基于的微結構技術，傳感器內含一塊獨特的硅芯片-它包含薄膜電路、發熱及熱敏感元件的熱隔離橋電路，橋電路對流過芯片的氣流快速、靈敏的響應。發熱體兩側的敏感元件還能指示氣流流過的方向。激光校整的厚膜電路及薄膜電阻了每個元器件一致的性能。微橋式氣流質量傳感器利用熱敏電阻薄膜-被壓成薄片包含在絕緣材料厚膜電路中，他們被懸掛起來在硅片刻蝕空洞上形成橋狀，如右圖顯示，芯片被精確的安放在氣流通道上，流量傳感橋下的硅片刻蝕空洞的空氣間隙提供發熱體和熱敏元件之間的熱隔離。微橋式氣流質量傳感器的小尺寸和熱隔離有助于氣流的快速響應及高靈敏度。特殊設計的殼體精確地引導和控制氣流流過微橋，并能很方便的安裝在印刷線路板上。雙惠斯頓電橋控制氣流的測量一個提供閉環的發熱器控制，另一個包含雙傳感元件，發熱器控制線路把由于周圍環境溫度變化而引起的輸出溫飄減小到最小程度。此線路保持發熱器溫度恒定高于周圍環境溫度160?C，周圍環境溫度由芯片上的熱敏電阻測量得知，惠斯頓電橋的差壓即為隨電源電壓比率變化的傳感器輸出電壓。氣流中的灰塵平行流過芯片表面，另外熱遷移效應能移走微米級的粒子，清潔了微電路，使用一些運用中可能存在的污染被減少，在我們的加速壽命試驗中，在低于50sccm速度氣流的典型的工業環境下，氣流質量傳感器能達到20 年的預測壽命。由于灰塵附著在芯片邊緣而引起的堵塞在低速下可以簡單地使用過濾網而解決，使用小格柵和高氣流阻抗的過濾網可得到的過濾效果- 當大量灰塵堆積在過濾網上時，綜合阻抗不會顯著變化，可采用一次性使用的5 微米格柵的過濾網。特點：* 的微加工技術* 低氣流速度敏感-0.1sccm* 檢測流量200 升/ 分鐘* 快速響應，低電流損耗，高反應重復性* 激光刻蝕提供了器件的一致性* 低壓力精確測量（0.001-4”水柱）典型運用：* HVAC 的風門擋板控制* 氣體分析儀* 低真空控制* 過程控制* 醫用呼吸儀和肺活量儀* 氧氣供應* 麻醉控制儀* 氣體標定注意：AWM 傳感器不能用于液體質量測量，當流過高速的液體流量時，傳感器可能會遭到破壞。
AWM2000系列氣體流量傳感器: AWM2000系列為無源器件，包含兩個惠斯頓電橋：一個為閉環的發熱控制電路，一個為雙傳感電路. 。雙向氣流傳感 。實際氣體質量流量傳感 。流速0~30sccm 到0~1000sccm 。能承受最大共膜壓力25PSI 。需另加發熱器控制及傳感橋路供電電路 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC 。輸出電壓:最大50mV AWM3000系列氣體流量傳感器: AWM3000 系列是輸出為1-5V 或4~20mA的氣體質量流量傳感器 。激光校整了一致的互換性 。測量流速可至1.0LPM 。能承受最大共膜壓力25PSI 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC AWM40000系列氣體流量傳感器： AWM40000 系列包括不帶放大和放大/ 信號處理的信號。氣體流量傳感器有一個由加熱器與溫度敏感元件組成的薄膜隔熱的電橋式結構。該電橋式結構對流過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏和快速的反應。AWM43600V 為6SLPM 器件。它主要的特點是： 。的微加工技術 。檢測流量0-6SLP 。工作溫度可至125℃ 。可承受150PSI的共膜壓力 。快速響應，低電流損耗。 。零點和滿量程高穩定性 應用場合 ： 電纜充氣機，醫用呼吸機和肺活量儀，氣體檢測設備，氣體標定 AWM5000 系列氣體流量傳感器 AWM5000 系列為文丘里流量管形外殼，可以測量至20 升/分鐘，最大壓降2.25"水的氣流. 微橋芯片直接與氣流接觸，大大減少了由于通氣孔或旁路堵塞引起的誤差。每個AWM5000系列產品 都包括含放大` 線性修正` 溫度補償和氣體標定，氣體標定通過激光校整得到。各種流量接口可選 。文丘里管設計 。遠程安裝 。激光校整CO2，N2 氬氣的標定 。能承受50psi的共模壓力 。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC 。工作溫度:-20~+70℃ AWM700 系列氣體流量傳感器 AWM700系列微橋大流量傳感器，提供了在線流量測量，和一個特殊設計的旁路封裝，這種傳感器測量流量可至標準200 標準升/ 分鐘（200SLPM），同時導致1 英寸水柱的壓降典型值。AWM720P1實現了小封裝下的大流量范圍，AWM720P1有一個6ms反應時間，10V直流供電，耗電僅60mW，緊湊的塑料封裝，可承受過壓至25PSI，而不影響指標。傳感器的AMP兼容連接件提供了的電氣連接。此傳感器也很適合于便攜設備和電池供電設備。AWM700系列傳感器，主要是為醫療呼喚機市場開發的，可以滿足許多醫療和分析儀器的應用需求。 。工作溫度:-25~+85℃ 。供電電壓:10VDC,輸出:5VDC 。能承受25psi的共模壓力