G5U-PH/S5U-PH手機(jī)激光干涉儀上海乾曜光學(xué)科技有限公司
一、儀器規(guī)格參數(shù)
G5U-PH激光干涉儀是G10U-PH的高分辨率升級(jí)版，為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足更大的透過波前PV值的測量。
儀器規(guī)格參數(shù)表
硬件部分：
| 產(chǎn)品型號(hào) | G5U-PH |
| 產(chǎn)品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
| 測試口徑 | Φ5mm |
| 輔助對準(zhǔn)口徑 | Φ30mm |
| 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進(jìn)口He-Ne激光器（632.8nm) |
| 光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換 |
| 電源 | AC220V50HZ |
軟件部分：
| 軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
| 分析項(xiàng)目 | 透過波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 測試重復(fù)性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測試允許誤差 | PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調(diào)整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時(shí) PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調(diào)整為1根條紋） 2λ<PV<3λ時(shí) PV：0.2λ Tilt：1fr（零場調(diào)整為1根條紋） |
| 測試時(shí)間 | 1.5~2秒 |
| 產(chǎn)品型號(hào) | S5U-PH |
| 產(chǎn)品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
| 測試口徑 | Φ5mm |
| 輔助對準(zhǔn)口徑 | Φ30mm |
| 標(biāo)準(zhǔn)鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進(jìn)口半導(dǎo)體激光器（635nm) |
| 光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換 |
| 電源 | AC220V50HZ |
| 軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
| 分析項(xiàng)目 | 透過波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 測試重復(fù)性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測試允許誤差 | PV<1λ時(shí) PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調(diào)整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時(shí) PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調(diào)整為1根條紋） |
| 測試時(shí)間 | 1.5~2秒 |
AK-40廠價(jià)直銷激光干涉儀，便攜式干涉儀，高精度激光干涉儀，優(yōu)質(zhì)激光干涉儀AK-40
| 配置方式 | |
| 立式、臥式配置 平面總成，球面總成 靜態(tài)測量，相位移調(diào)制測量 | |
| 附件 | |
| 標(biāo)準(zhǔn)平面和球面參照鏡 與ZYGOTM參照鏡相容 標(biāo)準(zhǔn)衰鏡 干涉儀支撐/調(diào)整用四腳座 水平五軸調(diào)整座 | |
| IntelliWave TM分析 | |
| Windows XP系統(tǒng) 干涉條紋靜態(tài)與相位移調(diào)制分析 完整的分析工具，包括統(tǒng)計(jì)資料、像差 繞射分析、影像加工、以及幾何影像轉(zhuǎn)換 干涉圖轉(zhuǎn)換成光學(xué)（OPD）或表面地圖（surface map） 自動(dòng)反復(fù)測量或自動(dòng)化分析功能 相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件 1 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得長度上，測量高度最高點(diǎn)與最低點(diǎn)間的距離 2 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取樣長度上，距離高度中心線的均方根偏差值。 3 三平面檢定方（3-Flat Test ）最使用三個(gè)平面參照鏡相互檢測的測量方式。 4 重復(fù)性（Repeatability）的定義：對相同的組件進(jìn)行100次量測，而每組量數(shù)據(jù)是由20個(gè)數(shù)據(jù)平均后取得，100組測數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)分析，定義重復(fù)性即是一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)差值。 | |
| 型號(hào) | AK-40 Fizeau type |
| 激光光源 | |
| 波長/ 功率 | He-Ne ,632.8nm , 0.7mw |
| 測量光束直徑 | 15英寸（38mm） |
| 偏振性 | 圓偏振動(dòng)（Circular Polarization） |
| 相干長度 | ＞100公尺 |
| 控制方式 | |
| 觀察調(diào)整 | 4On/off 開關(guān) |
| 變焦 | 旋轉(zhuǎn)度盤 |
| 對焦調(diào)整 | 旋轉(zhuǎn)鈕 |
| 光強(qiáng)調(diào)整 | 旋轉(zhuǎn)鈕 |
| 模式切換 | 手動(dòng)切換 |
| 光 學(xué) 部 分 | |
| 變焦范圍 | 1X—6X |
| 對準(zhǔn)調(diào)整 | 二點(diǎn)調(diào)整 |
| 觀察調(diào)整角 | ±1.8度 |
| 預(yù)熱時(shí)間 | ＜ 30分鐘 |
| 視頻規(guī)格 | |
| 攝像機(jī) | RS170， 640X480像素 |
| 顯示器 | 計(jì)算機(jī)含LCD屏幕或視頻監(jiān)視器 |
| 電氣部份 | |
| 電 源 | 110/240 Volts ,50/60Hz （50 watts） |
| 機(jī)械部份 | |
| 尺寸 | 120*120*250mm |
| 重量 | 6 kg |
| 測量性能（應(yīng)用 IntelliWAare TM軟件量結(jié)果） | |
| 系統(tǒng)準(zhǔn)確度（三平面檢定法）（3） | λ/100 , 峰谷值（1） |
| 峰谷值重復(fù)性（4）（PV Repeatability） | λ/3 00 , 峰谷值（1） |
| 均方值重復(fù)性能（2）（4）（RMS Repeatability） | λ/2,000 |
| 干涉條紋解像度（Fringe Resolution ） | 180條 |
雷尼紹激光干涉儀
SJ6000激光干涉儀
SJ6000采用高穩(wěn)頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術(shù)、高精度環(huán)境補(bǔ)償模塊、 幾何參量干涉光路設(shè)計(jì)、高精度激光干涉信號(hào)處理系統(tǒng)、高性能計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)技術(shù)，實(shí)現(xiàn)各種參數(shù)的高精度測量。通過激光熱穩(wěn)頻控制技術(shù)，實(shí)現(xiàn)快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強(qiáng)、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學(xué)鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號(hào)，然后通過高精度激光 干涉信號(hào)處理系統(tǒng)得到干涉數(shù)據(jù)，將數(shù)據(jù)通過計(jì)算機(jī)進(jìn)行顯示和動(dòng)態(tài)分析。
使用時(shí)，操作者先按照設(shè)計(jì)的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應(yīng)的平面鏡反射回來，這兩束光從而能 夠發(fā)生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調(diào)整干涉臂長度以及改變介質(zhì)的折射率來實(shí)現(xiàn)，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點(diǎn)的軌跡，因此，要 分析某種干涉產(chǎn)生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數(shù)。
搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設(shè)定測量的開始、結(jié)束位置，點(diǎn)擊“開始”按鈕，軟件界面會(huì)實(shí)時(shí)顯示測量所得動(dòng)態(tài)數(shù)據(jù)；掃描結(jié)束后，操作者可通過對測量所得 數(shù)據(jù)曲線進(jìn)行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數(shù)。并根據(jù)系統(tǒng)內(nèi)置的檢測標(biāo)準(zhǔn)對被測件的各項(xiàng)參數(shù)進(jìn)行合格判定，檢測結(jié)束后自動(dòng)生成檢定 結(jié)果。
二、特點(diǎn)優(yōu)勢三、技術(shù)參數(shù)| 1 | 線性測長距離 | 40m |
| 2 | 線性測長精度 | ±（0.02+0.5L）um |
| 3 | 激光穩(wěn)頻精度 | 0.05ppm |
| 4 | 分辨率 | 0.001um |
| 5 | *大測量速度 | 4.0m/S |
| 6 | 動(dòng)態(tài)采集頻率 | 50KHZ |
| 7 | 預(yù)熱時(shí)間 | 5~10分鐘 |
| 8 | 環(huán)境補(bǔ)償精度 | 空氣壓力：±1.0mBar， 空氣濕度：±6%， 材料溫度：±0.1℃ |
| 9 | 基本重量(含三腳架，包裝) | 15Kg |
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動(dòng)角測量示意圖
以上是回轉(zhuǎn)臺(tái)定位精度測量示意圖
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf