G5U-PH/S5U-PH手機激光干涉儀上海乾曜光學科技有限公司
一、儀器規格參數
G5U-PH激光干涉儀是G10U-PH的高分辨率升級版，為3D屏及全面屏攝像孔檢測而定制，可以滿足更大的透過波前PV值的測量。
儀器規格參數表
硬件部分：
| 產品型號 | G5U-PH |
| 產品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
| 測試口徑 | Φ5mm |
| 輔助對準口徑 | Φ30mm |
| 標準鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進口He-Ne激光器（632.8nm) |
| 光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換 |
| 電源 | AC220V50HZ |
軟件部分：
| 軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
| 分析項目 | 透過波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 測試重復性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測試允許誤差 | PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調整為1根條紋） 2λ<PV<3λ時 PV：0.2λ Tilt：1fr（零場調整為1根條紋） |
| 測試時間 | 1.5~2秒 |
| 產品型號 | S5U-PH |
| 產品名稱 | 5mm正立式激光干涉儀 |
| 測試口徑 | Φ5mm |
| 輔助對準口徑 | Φ30mm |
| 標準鏡面形精度 | λ/20 |
| 光源 | 進口半導體激光器（635nm) |
| 光路切換 | 輔助觀察（Φ30mm大視場）與測試（Φ5mm小視場）模式電控切換 |
| 電源 | AC220V50HZ |
| 軟件名稱 | 移相算法（簡稱PH） |
| 分析項目 | 透過波前PV值、平行度Tilt值等 |
| 測試重復性 | PV：0.01λ RMS:0.003λ |
| 測試允許誤差 | PV<1λ時 PV：0.05λ Tilt：0.2fr（零場調整為1根條紋） 1λ<PV<2λ時 PV：0.1λ Tilt：0.5fr（零場調整為1根條紋） |
| 測試時間 | 1.5~2秒 |
AK-40廠價直銷激光干涉儀，便攜式干涉儀，高精度激光干涉儀，優質激光干涉儀AK-40
| 配置方式 | |
| 立式、臥式配置 平面總成，球面總成 靜態測量，相位移調制測量 | |
| 附件 | |
| 標準平面和球面參照鏡 與ZYGOTM參照鏡相容 標準衰鏡 干涉儀支撐/調整用四腳座 水平五軸調整座 | |
| IntelliWave TM分析 | |
| Windows XP系統 干涉條紋靜態與相位移調制分析 完整的分析工具，包括統計資料、像差 繞射分析、影像加工、以及幾何影像轉換 干涉圖轉換成光學（OPD）或表面地圖（surface map） 自動反復測量或自動化分析功能 相互連接Lab VIEW 、Research Systems IDL 、Math Work、Matlab和Microsoft Excel軟件 1 蜂谷值（PV ，Peak-to-Valley） 是取得長度上，測量高度最高點與最低點間的距離 2 均方根值（RMS，Root-Mean-Square）是取樣長度上，距離高度中心線的均方根偏差值。 3 三平面檢定方（3-Flat Test ）最使用三個平面參照鏡相互檢測的測量方式。 4 重復性（Repeatability）的定義：對相同的組件進行100次量測，而每組量數據是由20個數據平均后取得，100組測數據統計分析，定義重復性即是一個標準差值。 | |
| 型號 | AK-40 Fizeau type |
| 激光光源 | |
| 波長/ 功率 | He-Ne ,632.8nm , 0.7mw |
| 測量光束直徑 | 15英寸（38mm） |
| 偏振性 | 圓偏振動（Circular Polarization） |
| 相干長度 | ＞100公尺 |
| 控制方式 | |
| 觀察調整 | 4On/off 開關 |
| 變焦 | 旋轉度盤 |
| 對焦調整 | 旋轉鈕 |
| 光強調整 | 旋轉鈕 |
| 模式切換 | 手動切換 |
| 光 學 部 分 | |
| 變焦范圍 | 1X—6X |
| 對準調整 | 二點調整 |
| 觀察調整角 | ±1.8度 |
| 預熱時間 | ＜ 30分鐘 |
| 視頻規格 | |
| 攝像機 | RS170， 640X480像素 |
| 顯示器 | 計算機含LCD屏幕或視頻監視器 |
| 電氣部份 | |
| 電 源 | 110/240 Volts ,50/60Hz （50 watts） |
| 機械部份 | |
| 尺寸 | 120*120*250mm |
| 重量 | 6 kg |
| 測量性能（應用 IntelliWAare TM軟件量結果） | |
| 系統準確度（三平面檢定法）（3） | λ/100 , 峰谷值（1） |
| 峰谷值重復性（4）（PV Repeatability） | λ/3 00 , 峰谷值（1） |
| 均方值重復性能（2）（4）（RMS Repeatability） | λ/2,000 |
| 干涉條紋解像度（Fringe Resolution ） | 180條 |
雷尼紹激光干涉儀
SJ6000激光干涉儀
SJ6000采用高穩頻氦氖激光器、激光雙縱模熱穩頻技術、高精度環境補償模塊、 幾何參量干涉光路設計、高精度激光干涉信號處理系統、高性能計算機控制系統技術，實現各種參數的高精度測量。通過激光熱穩頻控制技術，實現快速(5~10 分鐘)、高精度(0.05ppm)、抗干擾能力強、長期穩定性好的激光頻率輸出，采用不同的光學鏡組與激光配合，得到不同的干涉信號，然后通過高精度激光 干涉信號處理系統得到干涉數據，將數據通過計算機進行顯示和動態分析。
使用時，操作者先按照設計的幾何光路安裝相配合的鏡組，幾何光路是以邁克爾遜型激光干涉儀原理為基礎設計的，下圖是邁克爾遜干涉儀的基本原理圖：
邁克爾遜干涉儀的原理是一束入射光分為兩束后各自被對應的平面鏡反射回來，這兩束光從而能 夠發生干涉。干涉中兩束光的不同光程可以通過調整干涉臂長度以及改變介質的折射率來實現，從而形成不同的干涉圖樣。干涉條紋是等光程差點的軌跡，因此，要 分析某種干涉產生的圖樣，必求出相干光的光程差位置分布函數。
搭建好幾何光路后，在檢定軟件上設定測量的開始、結束位置，點擊“開始”按鈕，軟件界面會實時顯示測量所得動態數據；掃描結束后，操作者可通過對測量所得 數據曲線進行分析，得到如長度、角度、直線度、垂直度、平面度等參數。并根據系統內置的檢測標準對被測件的各項參數進行合格判定，檢測結束后自動生成檢定 結果。
二、特點優勢三、技術參數| 1 | 線性測長距離 | 40m |
| 2 | 線性測長精度 | ±（0.02+0.5L）um |
| 3 | 激光穩頻精度 | 0.05ppm |
| 4 | 分辨率 | 0.001um |
| 5 | *大測量速度 | 4.0m/S |
| 6 | 動態采集頻率 | 50KHZ |
| 7 | 預熱時間 | 5~10分鐘 |
| 8 | 環境補償精度 | 空氣壓力：±1.0mBar， 空氣濕度：±6%， 材料溫度：±0.1℃ |
| 9 | 基本重量(含三腳架，包裝) | 15Kg |
以上為直線度測量示意圖，包括水平方向直線度和垂直方向直線度
以上是平面度測量示意圖
以上是垂直度測量示意圖
以上是位移、線性度、速度、加速度、定位精度測量示意圖
以上是對角測量示意圖
以上是俯仰角測量示意圖
以上是偏擺角測量示意圖
以上是滾動角測量示意圖
以上是回轉臺定位精度測量示意圖
耶拿爾雙頻激光干涉儀樣本（中文）.pdf