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采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。

該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償。

二、技術參數（本產品按Q/320500HH009-2014進行生產、校驗）

2.1  測量介質：各種氣體（乙炔氣和混合氣體除外）

2.2   流量范圍： DN3   100-1000ml/min

                 DN4   250-2500ml/min

                 DN6   1000-10000ml/min

                 DN8   1500-15000ml/min

                 DN10  2500-25000ml/min          

注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言；

(b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。

2.3   流量測量準確度：±1.5%FS

2.4   工作溫度范圍：0-55℃；

2.5   工作壓力范圍：0.3MPa，0.6MPa，1.0MPa``

2.6   供電電源：24VDC±10%；

2.7   輸出信號：4-20mA，RS485通訊；

2.8   環境溫度：0-55℃；

2.9   顯示位數：瞬時流量為三位，累積流量10位。

 一.產品概述

特點 針對用戶問題的解決方案  恒溫度加熱設計，直接質量流量測量 出色的穩定性、重復性，滿足用戶對流量監測的要求 無需附加設備；無需流量計算機 無需壓力變送器（標定時對壓力進行補償）

無需溫度變送器（按照實際溫度進行溫補） 減少用戶現場安裝、維護的環節及費用  所有產品采用無活動部件設計  不會因介質臟或介質顆粒造成傳感器堵塞  寬量程比100：1，對低流量敏感  無需進行多級測量，適用于現場各種量程 全金屬焊接構造  傳感器無磨損、抗腐蝕，保證傳感器長期穩定運行 低壓力損失  幾乎沒有壓力損失，克服了傳統差壓法因管道壓力低而無法測量的弊病  變送單元可以一體化也可以分體化安裝 方便用戶操作，可集中查看各風道流量值，減少工作量，同時滿足高溫測量的要求  傳感器插入式或管道式安裝  降低安裝費用，適于各種管徑的測量要求  插入式配球閥  便于維護和檢修 

二.典型應用 1、公共工程 電、氣、水處理的監控管道氣體；通用系統；沼氣；煤氣；天然氣；液化氣；鍋爐余熱空氣 2、化工行業。 煙氣循環監測；采樣系統氣體流量計量；引風機氣體流量計量；化肥廠氨氣測量；電池工廠各種氣體的測量。 3、環保項目 沼氣利用過程中的氣體測量；氯氣處理過程中的氣體測量；污水處理過程中曝氣池的氣體測量；煙筒煙道排氣監測SO2和NOX的排量。 4、電力和能源 燃料系統氣體分配過程中氣體的測量；鍋爐及輔機系統中各種氣體的測量；燃氣爐氣體的測量；電廠高爐一次風、二次風的測量。 5、石油和天然氣 能量交換；填井氣回收；燃氣計量；氣體質量分析；泄漏氣監測；天然氣計量；火炬氣監控。 6、紙漿與造紙 廢水處理系統中氣體的測量；煙道流量監控；鍋爐回收二次、三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風的測量。 7、冶金 鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的測量控制 8、食品及醫藥 加工操作中新鮮空氣的加入；啤酒廠的二氧化碳處理；瓶子消毒器中熱空氣的流量；熱氧化過程中氣體流量測量；通風系統；鍋爐進氣、廢氣、過程控制 9、其他行業 工廠壓縮空氣的測量；煤粉燃燒過程粉、氣配比控制燃料；水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制

三.工作原理熱式氣體質量流量計基于熱擴散原理，即利用流體流過發熱物體時，發熱物體的熱量散失多少與流體的流量成一定的比例關系。具體來說，流量計的傳感器有兩只標準及的RTD，一直用來做熱源，一直用來測量流體溫度，流體流過時，熱源的熱量損失與流量的大小成非線性關系，熱式氣體質量流量計就可以把這種關系轉換成測量流量信號的線性輸出。 利用熱擴散原理制造的流量計有兩種設計方法，基于共同的模型，如圖一：

溫度傳感器（RTD）分別置于氣流中兩金屬細管內，一熱電阻測得氣流溫度T；另一細管經功率恒定的電熱加熱，其溫度Tv高于氣流溫度，氣體靜止時Tv最高，隨著質量流速ρU增加，氣流帶走更多熱量，溫度下降，測得溫度差ΔT=Tv-T.這種方法稱作“溫度差測量法”或“溫度測量法”。 若保持ΔT恒定，控制加熱功率隨著流量增加而增加功率，這種方法稱作“功率消耗測量法”。

• 不需要溫度，壓力補償；

• 一個流量計能同時兼顧小流量和大流量測量，特別適合大口徑測量。

• 智能數顯流量積算儀配套。

• 基地式儀表可以就地顯示和帶報警控制。

四.技術性能特點 技術參數 精度 ±1%的讀數±0.5%滿量程  重復性 ±0.5%  量程比 常規100：1；取決于標定流量的范圍 量程上限 80Nm/s（空氣，20℃，101.33kPa） 量程下限 0.05Nm/s（空氣，20℃，101.33kPa） 適用管徑范圍 Ø6~Ø6000 使用壓力范圍 負壓，0~1.0MPa，0~1.6MPa，0~2.0MPa，0~3.0MPa 適用介質溫度范圍 -20~60℃，60~100℃，100~150℃，150~200℃，200~300℃ 適用介質 各類單一或定百分比的混合氣體，含塵、含沙、含濕氣以及各種腐蝕性氣體 傳感器直徑 Ø3（標準）、Ø4  傳感器材質 316不銹鋼、哈氏合金、鈦 探桿直徑 Ø19（標準）、Ø16、Ø12 探桿材質 316不銹鋼（標準）、哈氏合金  儀表供電 24VDC/400mA  或  220VAC/2W 輸出信號 4～20mADC，最大負載1000Ω ；RS-485通訊接口 現場顯示 大屏幕LED顯示：四位瞬時流量，八位累積流量 修  正 鍵入16段非線性修正  供貨類型 分體型結構—變送器+流量積算儀；一體型結構—變送器本身帶流量積算儀  連接形式 管道式和插入式 電氣接口 M20×1.5 報  警 1～2路繼電器輸出、3A/220VAC、3A/30VAC、鍵入設定  防護等級 IP65 防爆等級 本安型（iaⅡCT65）、隔爆型（ExdⅡCT4）  使用壽命 5年

外形尺寸TE-LR100熱式氣體質量流量計標準外形尺寸如圖二所示，部分尺寸可根據現場要求訂制。

選型指南5.1量程與通徑的選擇 1、查表法：    表一：空氣質量流量范圍選擇表；    表二：四種常用氣體的標定流量范圍選擇表；    表三：常用氣體流量上限值。     為了檢定和使用方便，儀表出廠時對量程要進行標定和檢查。量程上限值，將在標牌和檢定證書中體現 2、量程上下限的確定：    （1）下限的確定：因為熱式氣體質量流量計對低流速敏感，最低可測量0.05m/s流速，所以在選型中不需考慮下限；    （2）上限的確定：主要由工藝流程設計值確定，一般儀表上限高于設計上限20%左右，以提高容錯率；    （3）混合氣體量程：對于混合氣體，用戶應給出標方密度和摩爾比值（各種成分占總量的百分比），然后由廠家確定量程。一般采用空氣或氮氣標定，然后通過儀表轉換系數修正； 3、聲明：     量程選擇上限受到設備條件限制，高上限采購前請與廠家確定技術明細。 

產品簡介：

MF4000系列質量流量計專為管徑為3mm到8mm的氣體管路中的低速氣流的流量計量而設計。卡口式設計為用戶提供簡便的安裝，滿足用戶測量多氣體管路的需求。塑料卡口可輕松的進行機械接口轉換，應用于不同的低成本環境。該表可用于麻醉機的電子表，也可應用于其他行業。

產品特點：

      - 專為管徑為3mm-8mm的氣體管路中低速氣流的流量計量而設計，進行流體數據統計記錄      - 各種連接方式，易于安裝與使用 　 - 響應時間短 　 - 在麻醉機電子表上具有卓越表現 　 - 可變機械連接方式可輕松安裝于不同的應用環境中 　 - 內置安全插件可適用于更寬的應用

機械尺寸：

技術參數：

性能指標

測量性能

精度：±1%的讀數或±0.25%的滿量程

調試：按NIST計量標準標定

重復性：±0.2%滿量程

響應時間：0.9秒

操作性能

測量單位

SCFM，SCFH，Nm³H，SLPM，KB/HR，LBS/M，SFPM，SFPS，NMPS.可選

流量范圍

插入式：0-163Nmps（標米每秒）

0-32，000sfpm（標英尺每分）

判斷插入式流量是否可以滿足要求，將最大流量除以管道橫截面積，看流速是否在要述范圍內。以下是常用管道的流量范圍。

帶測量管式：

注：＊以上為1個大氣壓，21℃標準條件下空氣數據。其它氣體向廠家查詢。

＊流速/流量范圍不在該范圍內的應用可通過擴徑或縮徑來解決，向廠家查詢。

壓力：

插入式：34.5Bar（500psi）

帶測量管式：以NPT連接為例34.5Bar（500psi）

注：以上為38℃條件指標

更高耐壓要求向工廠查詢

溫度：

標準傳感器：-40~121℃

中溫傳感器：0~204℃

高溫傳感器：0~343℃

電子單元：-40~70℃無顯示

-20~60℃有顯示

注：0.25"和0.5"管道式無高溫傳感器

供電：

標準24VDC，±10%，0.5A

可選85-250VAC，50/60Hz,25W功率。

輸出：

＊兩路隔離4-20Ma，一路瞬時流量，一路溫度；

＊100Hz,10隔離脈沖流量輸出

（脈沖輸出端子可用作隔離報警輸出）

＊RS485接口，Modbus,Profibus-DP,Devicenet和Ethernet協議可選。

理性物能：

傳感器材質：

316ss標準；Hastelloy C276可選。

外殼：

防護等級：NEMA 4X，（IP66）

危險區域：II區I級B，C，D組

電纜：

分體式：5芯屏蔽電纜，線規22 AWG，最長30米。

輸出信號：推薦2芯屏蔽電纜，線規22 AWG，最長1000米。

可插拔球閥組件：

低壓組件：耐壓4.1Bar（60 psig）

高壓（曲柄）組件：NPT 41Bar（600 psig）

ANSI 150 & ANSI 300

● 通過儀表面板上的按鍵或智能軟件界面（RS-232）現場調節和設定儀表● 現場自校驗● 直接的質量流量監測無需溫度和壓力補償● 大大減少了上游管道的需要● 特出的量程比大● 響應時間為1秒● FM，CSA和EEX認證● CE認證● 獲中華人民共和國計量器具批準證書（CPA）

銷售熱線：13770421007  0517-83306276邵強

一、熱式氣體質量流量計應用場合：  可用在餐飲、賓館、企業商業結算等行業的燃氣商業結算，輸配管網燃氣計量，燃氣調壓站計量，工業和民用鍋爐等燃氣計量，也可用作丙烷、氮氣、壓縮空氣、沼氣、工業惰性氣體等各種無腐蝕性氣體標準流量計。

二、熱式氣體質量流量計產品的技術優勢： 1、專有流量數據模型算法；模糊理論控制溫度、濕度算法；2、高性能智能微處理器及模數、數模轉換芯片；3、寬量程比1000：1；大口徑，低流速，壓損可忽略；4、直接測量質量流量，無須溫壓補償；5、低流速測量非常靈敏；6、設計、選型方便，安裝、使用簡便；7、適合各類單一或混合氣體流量測量。 三、熱式氣體質量流量計產品特點：1、采用穩定性極高的專利技術鉑RTD傳感器2、采用享有專有技術”平衡結構封裝”,介質溫度自補償3、專有算法,可實現高線性、高重復性、高精度4、量程比寬1000:1,可據用戶要求可拓展5、可實現大管徑小流量測量，小流量可測低至零,分辨率0.001m/s

四、熱式氣體質量流量計應用場合：1、公用工程－－-電、氣、 水處理的監控管道的氣體；通用系統；沼氣；煤氣；天然氣；液化氣；鍋爐預熱空氣2、石油與天然氣工業能量交換；填井氣回收； 燃氣計量；氣體質量分析；泄漏氣測試；天然氣測量；火炬氣的監控3、電力行業燃料系統中氣體分配過程中的氣體測量；鍋爐及輔助系統中各種氣體的測量；燃氣爐中氣體測量；氫氣測量；電廠高爐的一次風、二次風的測量4、化學行業煙氣循環監測；采樣系統中氣體流量計量；引風機的氣體流量計量；化肥廠氨氣測量 ；電池工廠各種氣體流量測量5、冶金行業鋼鐵廠加氣測量；煉鐵廠高爐煤氣的測量；焦化廠焦爐煤氣的測量；軋鋼廠加熱爐燃氣（高爐煤氣、焦化煤氣、天然氣等）的測量控制；熱處理淬火爐等的氫、氧、氮等氣體的控制6、紙漿與造紙行業廢水處理系統中氣體的測量；煙道流量監控；鍋爐回收二次/三次空氣；鍋爐的燃氣和空氣送風測量7、食品及醫藥行業加工操作中新鮮空氣的加入；啤酒廠中的二氧化碳處理；瓶子消毒器中的熱空氣的流量；熱氧化過程中氣體流量測量；通風系統；鍋爐進氣、廢氣、過程控制8、環保沼氣利用過程中的氣體測量；處理過程中氣體測量；污水處理過程中曝氣池的氣體測量；煙筒煙道排氣監測SO2和NOX的排量 9、其他行業工廠壓縮空氣測量；煤粉燃燒過程粉/氣配比控制燃料；水泥工業豎式磨粉機排放熱氣流量控制 五、熱式氣體質量流量計性能指標：1、測量范圍：0.5—100Nm/s （20℃，101.33KPa）2、準確度: ±1.5%的讀數 ±1.5%滿量程3、量程比：通常100：1（取決于標定流量的范圍）4、管徑范圍: 15mm～6000mm5、應用范圍: 適合各類單一或混合氣體。含塵、含沙、含濕氣、各種腐蝕性氣體。（乙炔氣體除外）6、環境溫度范圍: -40℃～+85℃(無顯示); -30℃～+70℃(有顯示); 濕度小于90%RH7、介質溫度范圍: -40℃～+100℃；-40℃～+200℃；-40℃～+450℃；-40℃～+510℃8、傳感器直徑：ф3、ф2.59、插入式傳感器探桿直徑：ф19（標準）、ф16、ф1210、傳感器材質：316不銹鋼、哈氏合金、鈦11、探桿材質（保護套）：316不銹鋼（標準）、哈氏合金12、雙向測量介質流量13、模擬量輸出：流量：4-20mADC,溫度：4-20mADC,大負載:1000Ω14、累積脈沖量輸出15、鍵入12段非線性修正，內置10段非線性修正16、通訊：串口輸出RS232/RS48517、供電電源：24VDC/600mA；220VAC/2W；110VAC/3W18、報警：1－2路繼電器輸出、5A/220V、5A/30VDC、鍵入設定19、大屏幕LCD顯示：七位瞬時流量，八位累積流量20、過程壓力:1.6Mpa（大20MPa）21、安裝工藝形式：插入式（卡套、卡套＋球閥、法蘭連接）適用于DN80以上的管道安裝，管道式（法蘭、螺紋連接）適用于DN15以上的管道安裝。22、防爆等級：本安型（iaⅡCT5）、隔爆型（ExdⅡCT4）23、防護等級：IP65六、熱式氣體質量流量計技術參數

注：DN<20mm時，傳感器尺寸請咨詢我公司 管段傳感器尺寸表(法蘭連接)

注： 表中只給出了1.0Mpa的額定壓力，高于1.0Mpa時請咨詢我公司 七、熱式氣體質量流量計安裝：

熱式氣體質量流量計的詳細介紹   熱式氣體質量流量計的主要特點 1、直接測量質量流量，無需溫度和壓力補償，測量方便、、可得到氣體的質量流量或標準體積流量。 2、可測量范圍寬，流速高至0.1～100Nm3/s均可測量，尤其適合大口徑測量。 3、安裝簡單、施工量小，插入式尤為簡單。 4、自帶球閥，對于一些介質可實現在線安裝，校正維修方便。 5、智能型流量積算儀，數字化設計，可查詢十年內測量數據，帶輸出、通訊功能。 熱式氣體質量流量計的技術指標 測量介質：各種氣體（乙炔氣除外） 管徑范圍：DN10～600mm 流速范圍：0.1～100Nm3/s 度：±0.5%，±1% 介質溫度：-40～350℃ 工作壓力：<4MPa，耐高壓型<20MPa 供電電源：一體型DC24V,分體型AC220V 輸出信號：4～20mA負載<500Ω RS485 管道材質：碳鋼、不銹鋼、鑄鐵、塑料等 顯示：一體型：8位字段式加24位提示符；分體型；漢字顯示 顯示內容：質量流量、標況體積流量、累積流量、標準時間、累積運行時間等。 分體轉換器外形：壁掛式：213×185×107mm；盤裝式：160×80×160mm 分體轉換器與傳感器距離<25m 分體轉換器防護等級：壁掛式：IP65；盤裝式：IP52 傳感器材質：插入式：不銹鋼；管段式：不銹鋼、碳鋼 傳感器防護等級：IP67 防爆等級：EXd Ⅱ CT3 一體式熱式氣體質量流量計分為插入式和管段式兩種 一體插入式適用管徑Dn25以上管道 一體管段式適用管徑Dn10以上管道 管段式傳感器數據表 內徑 （mm）DN 重量 （Kg） 安裝長度 （mm）L 法蘭尺寸（mm） 額定壓力 （MPa） D D0 N×A 10 4.3 280 90 60 4×14 1.0 20 7.8 280 105 75 4×14 32 9.5 280 140 100 4×18 50 12.2 280 165 125 4×18 80 17.5 280 200 160 8×18 100 19.2 280 220 180 8×18 150 25.1 310 285 240 8×22 200 40.5 340 340 295 8×22 250 61.0 370 395 350 12×22 300 89.0 410 455 400 12×22 350 97.2 440 505 460 16×22 400 102.3 480 565 515 16×26 450 113.5 510 615 565 20×26 500 147.8 550 670 620 20×26 600 211.5 620 780 725 20×30 700 331 690 860 810 24×26 0.6 800 489 750 975 920 24×30 1000 810 890 1175 1120 28×30 分體型熱式氣體質量流量計 分體熱式氣體質量流量計是在一體型基礎上加裝分體轉換器，便于遠程離操作儀表，轉換器采用漢字顯示，多功能測量，分為壁掛式和盤裝式兩種。 分體型壁掛式轉換器 （懸掛于豎直） 分體盤裝式轉換器 開孔尺寸152×76mm

熱式氣體質量流量計