產(chǎn)品介紹
1、高精度測針型 CNC 表面測量儀可以同時(shí)進(jìn)行表面粗糙度和形狀 / 輪廓的測量。
2、X1 軸和 Z2 軸的最大驅(qū)動速度分別為40mm/s 和 200mm/s，可以高速定位，從而提高了多重輪廓 / 多工件測量的效率。3、 X1 軸和 Z1 軸上裝有三豐激光全息光柵尺，從而可以實(shí)現(xiàn)高分辨率 [X1 軸分辨率 ：6.25nm, Z1 軸分辨率 ：4nm/8nm（CS-5000CNC）, 1nm/2nm （CS-H5000CNC）] 的輪廓 / 形狀測量、表面粗糙度的批量測量。
4、Z1 軸檢出器采用主動控制方式，減少 Z1軸動態(tài)測力變化的同時(shí)擴(kuò)展了測量范圍。
5、Z1 軸檢出器集成了防碰撞安全裝置，當(dāng)儀器主體與工件或夾具發(fā)生碰撞時(shí)，檢測裝置可以自動停止工作。
6、 CS-5000CNC 帶有 a 軸，可以通過電動旋轉(zhuǎn) X1 軸連續(xù)測量水平面和傾斜面。
7、帶有 Y 軸工作臺的型號，可沿 Y 軸進(jìn)行多工件定位，從而增加了多工件測量范圍。
8、提供易于操作的控制盒，用戶可以通過這兩個(gè)操縱桿選擇合適的軸進(jìn)行移動。在按鍵上標(biāo)有易于理解的圖形顯示軸的選擇狀態(tài)。
9、通過USB端口與數(shù)據(jù)處理/分析裝置（選件）進(jìn)行信息交換。
產(chǎn)品屬性
X1 軸測量范圍 : 200mm
分辨率 : 0.00625μm
檢測方法 : 激光全息光柵尺
驅(qū)動速度 : 最大 40mm/s （CNC 模式）0 - 40mm/s （操縱桿控制模式）
測量速度 : 0.02 - 0.2mm/s （表面粗糙度）0.02 - 2mm/s （形狀/輪廓）
測量方向 : 向前／向后
直線度 : （0.1 0.0015L）μm 使用標(biāo)準(zhǔn)測針（0.2 0.0015L）μm使用二倍長型測針直線度 : （0.05 0.0003L）μm 使用標(biāo)準(zhǔn)測針（0.1 0.0015L）μm使用二倍長型測針（CS-H5000CNC）指示精度 （20oC）: ±（0.3 0.002L）μm指示精度 （20oC）: ±（0.16 0.001L）μmL 為驅(qū)動長度 （mm）Z1 軸
測量范圍 : 12mm （使用標(biāo)準(zhǔn)測針）24mm （使用二倍長型測針）
分辨率 : 0.004μm （使用標(biāo)準(zhǔn)測針）0.008μm （使用二倍長型測針）0.001μm （使用標(biāo)準(zhǔn)測針）（CS-H500CNC）0.002μm （使用二倍長型測針）（CS-H500CNC）測針上／下運(yùn)作 : 弧形運(yùn)動
檢測方法 : 激光全息光柵尺指示精度 （20oC）: ±（0.3 I0.02HI）μm指示精度 （20oC）: ±（0.07 I0.02HI）μmH 為測量高度 （mm）測力 : 4mN （使用標(biāo)準(zhǔn)測針）0.75mN （使用二倍長型測針）
跟蹤角度 : 向上 60o, 向下 60o（取決于表面粗糙度）
測針方向 : 向下
其他說明
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