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萬濠rational 納米白光干涉儀AE-100M

產(chǎn)用途：結(jié)合光學(xué)顯微鏡與白光干涉儀功能的掃描式白光干涉顯微鏡，結(jié)合顯微物鏡與干涉儀、不需要復(fù)雜光調(diào)整程序，兼顧體積小、納米分辨率、易學(xué)易用等優(yōu)點，可提供垂直掃描高度達(dá)400um的微三維測量，適合各種材料與微組件表面特征和微尺寸檢測。應(yīng)用域包含：玻璃鏡片、鍍膜表面、晶圓、光碟/影碟、精密微機電元件、平面液晶顯示器、高密度線路印刷電路板、IC封裝、材料分析與微表面研究等。

產(chǎn)特點:● 納米深度3D檢測● 高速、無接觸量● 表面形狀、粗糙度分析● 非透明、透明材質(zhì)皆適用● 非電子束、非雷射的安全量測● 低維護成本

的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）：● 提供多功能又具友好界面的3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Roughness）與起伏度● （waviness）的測量分析。可提供多達(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer）● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出

高速精密的干涉解析軟件(ImgScan)：● 系統(tǒng)硬件搭配ImgScan處理軟件自動解析白光干涉條紋● 垂直高度可達(dá)0.1nm● 高速的分析算法則，讓你不在苦候測量結(jié)果● 垂直掃描范圍的設(shè)定輕松又容易● 有10X、20X、50X倍率的物鏡可供選擇● 平臺X、Y、Z位置數(shù)字式顯示，使檢測目標(biāo)尋找快速又便利● 具有手動/自動光強度調(diào)整功能以取得佳的干涉條紋對比● 具有高精度的PVSI與高速VSI掃描測量模式供選擇● 具有的解析算法則可處理半透明物體的3D形貌● 具有自動補點功能● 可自行設(shè)定掃描方向

萬濠rational 納米白光干涉儀AE-100M

技術(shù)規(guī)格參數(shù)：

型號	AE-100M
移動臺(mm)	平臺尺寸100100 ，行程1313
物鏡放大倍率	10X	20X	50X
觀察與量測范圍(mm)	0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光學(xué)分辨力(μm)	0.92	0.69	0.5
收光角度(Degrees)	17	23	33
工作距離	7.4	4.7	3.4
傳感器分辨率	640*480像素
機臺重量(kg)/載重kg	20kg/小于1kg
Z軸移動范圍	45mm , 手動細(xì)調(diào);可訂制150mm
Z軸位置數(shù)字顯示器	分辨力1μm
傾斜調(diào)整平臺	雙軸/手動調(diào)整
高度測量
測量范圍	100(μm)(400μm ,選配)
量測分辨力	0.1nm
重復(fù)精度	≤ 0.1％ (量測高度:>10μm)
	≤10nm(量測高度1μm 10μm)
	≤ 5nm(量測高度:<1μm )
量測控制	自動
掃描速度(μm/s)	12(高)
光源
光源類型	儀器用鹵素（冷）光源
平均使用壽命	1000小時100W 500小時（150W）
光強度調(diào)整	自動/手動
數(shù)據(jù)處理與顯示用計算機
中央處理運算屏幕	雙核心以上CPU
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕	21" 雙晶屏幕
操作系統(tǒng)	Win7
電源與環(huán)境要求	AC100 －－240 V 50-60Hz
環(huán)境振動	VC-C等以上
測量分析軟件
量測軟件ImgScan	ImgScan測量軟件：具VSI/ PVSI/PSI 測量模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配）
分析軟件PosTopo	ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D 觀測視角圖，外形/面積/體積分析，圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換報表輸出，程序教導(dǎo)測量等。

萬濠rational 納米白光干涉儀AE-100M

該公司產(chǎn)品分類：干燥機靜點測試儀張力計瑪芝哈克韓國DONG-DO 亮度計光澤度儀大理石扭力起子插規(guī)，深度規(guī) 蔚儀試驗儀器寶禾密儀器系列意大利GIVIMISURE 顯微鏡瑞士杰恩爾常州首豐影像儀各式千/百分表測頭其他儀器儀表污點規(guī)，點卡，對比測量推拉力測試儀器

sis智泰白光干涉儀

產(chǎn)品特點：

1 、非接觸式測量：避免對象受損。

2 、三維表面測量：表面高度測量范圍為 1nm －－-200μm。

3 、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。

4 、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。

5、高速數(shù)字訊號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。

6 、掃描儀：采用死循環(huán)控制系統(tǒng)。

7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。

8 、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的使用者接口，強大而快速的運算。

應(yīng)用領(lǐng)域：

1、半導(dǎo)體芯片

2、液晶產(chǎn)品（CS,LGP,BIU）

3、微機電系統(tǒng)

4、光纖產(chǎn)品

5、資料存儲盤（HDD,DVD,CD）

6、材料研究

7、精密加工表面

8、生物醫(yī)學(xué)工程

機型		SIS 1200	SIS 2000
工作臺	尺寸	250 mm×174 mm	350mm×350mm
	傾斜度	±3 °
測量行程		X:150mm Y:100mm	X:200mm Y:200mm
Z軸行程		50mm	100mm
運動方式		手動	自動，馬達(dá)驅(qū)動
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1 nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物鏡安裝架		手動導(dǎo)引五孔式	手動 5個位移的可定位夾具
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×

系統(tǒng)參數(shù)：

測量技術(shù)	增強相位掃描干涉相位移動干涉
放大率	2.5X	5X	10X	20X	50X
視場 (mm)	3.62×2.72	1.81×1.36	0.90×0.68	0.45×0.34	0.18×0.13
橫向分辨率	4.72μm	2.72μm	1.18μm	0.88μm	0.64μm
控制器	計算機
軟件	i2000SNU Map Windows 2000環(huán)境下運行
掃描儀	死循環(huán)控制
抗震工作臺	氣動裝置

SIS 2000自動白光干涉儀

SIS 2000基本信息

品牌：	SNU	型號：	SIS 2000	操作方式：	自動
功能：	檢測、觀察、分析	精度：	1nm
其它型號：	SIS 1200

SIS 2000產(chǎn)品特點

1、非接觸式測量：避免物件受損。2、三維表面測量：表面高度測量范圍為1nm-200μm。3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。4、納米級分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。5、高速數(shù)字信號處理器：實現(xiàn)測量僅需要幾秒鐘。6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。7、工作臺：氣動裝置、抗震、抗壓。8、測量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強大而快速的運算。

SIS 2000技術(shù)參數(shù)

機型		SIS 2000
工作臺	尺寸	350mm×350mm
	傾斜度	±3 °
測量行程		X:200mm Y:200mm
Z軸行程		100mm
運動方式		自動，馬達(dá)驅(qū)動
掃描速度		30μm/sec
垂直分辨率		0.1nm
CCD		黑白CCD， 640×480 像素
物鏡安裝架		手動 5個位移的可定位夾具
鏡頭選配		鏡頭：5×、10×、20×、50×

SIS 2000應(yīng)用領(lǐng)域

1、TFT產(chǎn)業(yè)2、半導(dǎo)體3、MEMS4、高校科研5、精密加工

CCI6000英國原裝進口Talysurf CCI系列白光干涉儀表面輪廓儀

Talysurf CCI 6000白光干涉儀隨著科技潮流,非接觸式的量測至今已被廣泛的應(yīng)用在生產(chǎn)及研發(fā)上，而Taylor Hobson經(jīng)多年的研發(fā)于2003年初推出的Talysurf CCI 6000白光干涉儀可堪稱目前世界上精度最高功能最強的白光干涉儀，,其超高解析度的特性（0.1Å），可以運用在量測晶圓，微機電及拋光元件等產(chǎn)品的粗糙度平面度及膜厚分析等，而非破壞性的特性更可以有效的量測軟性物質(zhì)，在邁入奈米紀(jì)元同時相信Talysurf CCI 6000絕對是各大企業(yè)不可少的量測系統(tǒng)。 Talysurf CCI 6000白光干涉儀： &解析度（Z軸） 0.01nm （0.1Å） &測量范圍（Z軸） 100um &測量范圍（X x Y） 0.36mm x 0.36mm ~ 7.2mm x 7.2mm（依物鏡倍率不同可自由選擇） &1024 x 1024 高解析量測點數(shù) &受測物的反射率 0.3% - 100% （透明物亦可量測）硬件及軟件 &氣浮式防震系統(tǒng)已隔絕樓板震動‧隔離罩以隔離外在環(huán)境避免影響量測精度 &相容于Windows 2000及 Windows XP 系統(tǒng) CCI干涉儀 Mirau 干涉白光干涉儀3D分析軟件 &Talymap 3D & 2D 分析軟體。 &可分析項目: 粗度平面度波紋膜厚體積計算承壓比值等等。 &微機電尺寸計算（距離高度等計算）‧表面頻譜分析（FFT） MEMS Sensor Optics Diamond Turned& Wafer Step Talysurf CCI 6000白光干涉儀應(yīng)用： &MEMS 微小尺寸計算 &Silicon Wafer 表面粗度平面度 &非球面鏡表面粗糙度 &硬碟光碟表面組織形狀 &OLED PDP LCD 膜厚分析計算

該公司產(chǎn)品分類：尼康卡規(guī)、角度尺、水平儀步距規(guī)、量塊、測厚規(guī) 測長儀數(shù)碼工程打印機其他各種常用量具數(shù)顯表、百分表、杠桿表卡尺、千分尺、微分頭材料試驗機除銹油美國施泰力東京精密三坐標(biāo)測量機涂層測厚儀鍍層測厚儀測量投影儀、影像測量儀電子天平、水分測試儀色差、光澤計齒輪測量儀顯微鏡、內(nèi)窺鏡

供應(yīng)張家港常熟靖江揚州廠家二次元三次元白光干涉儀

供應(yīng)張家港常熟靖江揚州廠家二次元三次元白光干涉儀智泰集團南通辦事處主要從事光學(xué)影像量測儀、三維激光抄數(shù)機、光譜儀、無損探傷儀、白光干涉儀、三坐標(biāo)測量儀和投影儀在蘇北地區(qū)的銷售和售后服務(wù)。同時也承接各種精密測量儀器技術(shù)咨詢,測量儀維修,改造服務(wù)。公司生產(chǎn)的儀器廣泛應(yīng)用于機械加工、汽配、摩配、制冷、家電、廚具、電機、電動工具、軸承、精密五金、精密工具、刀具、模具、沖壓制品、光學(xué)元件、塑膠制品等行業(yè)。可測軸承套圈、滾針、滾子、鋼球、電機軸、電機換向器（整流子）、花鍵軸、齒輪軸、凸輪軸、曲軸、圓柱銷、活塞銷、活塞、缸套、氣門、閥門、齒輪、凸輪、油泵油嘴、液壓件、氣動件、紡機配件等工件相關(guān)參數(shù)；適用于科研院所、大專院校、計量機構(gòu)和企業(yè)計量室、車間在線檢測等。我公司產(chǎn)品使用范圍廣,成立十年來一直暢銷于各行各業(yè). Super View超大行程系列基本信息品牌： 3DFAMILY 型號： SV1200 操作方式：自動功能：三維測量精度： 4.5μm 軟件： OVM Pro其它型號： SV1500 SV1000

產(chǎn)品介紹 Super View超大行程系列量測儀是3DFAMILY又一創(chuàng)新力作，產(chǎn)品擁有多項專利設(shè)計，彌補了目前市場上銷售各品牌大行程機型的多項缺陷。產(chǎn)品特點1、采用流線型外觀，減少運行時的阻力，提率。2、模塊化設(shè)計，超大行程移動橋架式結(jié)構(gòu)，運行性能穩(wěn)定，且機構(gòu)穩(wěn)定不變形。3、的低阿貝誤差，測量精度大幅度提升。4、日本三洋伺服馬達(dá)，X、Y軸加裝德國高減速比減速機減少馬達(dá)負(fù)載、提高運行速度使運行速度快、穩(wěn)定。5、Y軸同步傳動X軸硬件閉環(huán)結(jié)構(gòu)，確保運行時不會出現(xiàn)左右偏擺或甩尾的現(xiàn)象。技術(shù)參數(shù)　具體型號 SV-1200測量行程（X/Y/Z） 1000×1200×200（mm）機臺尺寸（長/寬/高） 1800×2500×1500（mm）機臺承重 20KG機臺底座、立柱和橫梁材料為高精度花崗石光源材質(zhì) LED冷光源精度（4.5+L/200）?m放大倍率光學(xué)放大率：0.7X-4.5X，影像放大率：28X-180X光學(xué)尺解析度 1?m重復(fù)性 4.5?m操作方式自動顯示器 17"液晶電源供給 220±10%適宜溫度、濕度溫度：20±2℃ 濕度：55%-65%保修期一年應(yīng)用領(lǐng)域大型鈑金件、PCB板及目前最熱門的TFT產(chǎn)業(yè)的刀模、背光板、絕緣材料、面版、邊框行業(yè)等附件CCD、鏡頭、光學(xué)尺、LED冷光源、OVM Pro軟件等

德國BMT WLI白光干涉儀

采用ACM 600 共焦顯微鏡可對物體的表面和結(jié)構(gòu)進行非接觸式的測量，評估和顯示。裝配不同的顯微物鏡，測量視場大小和精度也不同。視場的擴展可通過釘合的方式來實現(xiàn)。 ACM 600 使用特殊的微透鏡掃描盤，使采集的單個測量點相互平行。ACM 600目前是商業(yè)化的采用微透鏡掃描盤的儀器。與尼普科夫掃描盤相比，微透鏡掃描盤使光學(xué)系統(tǒng)反應(yīng)快速，所以即使暗淡的表面也能夠獲得良好的測量結(jié)果。它的另外的獨特之處在于采用了LED作為光源，避免了使測量頭發(fā)熱，因而它的壽命幾乎可以視為無限長。儀器配備了物鏡切換盤，可以快速轉(zhuǎn)換物鏡。檢測物件的設(shè)定和測量全過程可以通過一個獨立的監(jiān)視器觀察。測量軟件基于Windows XP操作系統(tǒng)編制，并提供所有標(biāo)準(zhǔn)的評估程序。儀器結(jié)構(gòu)緊湊，耐用，特別適用于工業(yè)用途。在微透鏡掃描盤自動伸出后，儀器可作為普通的顯微物鏡使用。

主要用途：

粗糙和光滑表面的測量和顯示

亞微米范圍內(nèi)的微觀形貌測量

金相測量

非接觸式表面輪廓的計量主要特點0,1mm2到0,7mm2視場采用釘合方式擴大視場

配置物鏡切換盤

確定垂直分辨率來設(shè)定測量時間

橫向分辨率可達(dá)1祄，垂直分辨率可到5 nm 具有采用微透鏡掃描盤的快速光學(xué)系統(tǒng)

全自動數(shù)據(jù)評估

實驗室和在線兩用設(shè)計主要優(yōu)點：

高保真輪廓復(fù)現(xiàn)，對物體三維結(jié)構(gòu)快速，非接觸式的定性和量化

測量結(jié)果與材料表面性能無關(guān)

根據(jù)用戶需求配置系統(tǒng)和軟件無人干預(yù)全自動測量過程

將微透鏡掃描盤自動伸出后可作為普通的顯微物鏡使用

采用壓電驅(qū)動或步進電機進行垂直掃描軟件:Windows XP 操作系統(tǒng) 測量和評估軟件包括下列功能：

水平調(diào)整，圖像縮放，輪廓線的提取，毛刺的剔除, 過濾，數(shù)學(xué)計算，F(xiàn)FT，ACF，2D/3D 粗糙度參數(shù)，面積的測定，斜度和波度的分布狀態(tài)及其它。用戶特定要求的計算方法

技術(shù)數(shù)據(jù)：

共焦顯微鏡頭標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格配置50x/0.8物鏡帶有微透鏡掃描盤的掃描共焦傳感器

光源: LED

壽命 h: > 50,000小時

采用步進電機時的測量范圍mm：50mm

采用壓電執(zhí)行器件時的測量范圍µm: 100/150µm

垂直分辨率 nm: 5nm

橫向分辨率µm: 1µm

工作距離mm: 0.66mm

視場µm: 370 x 280µm

256個高度臺階的測量時間s: 約 30秒

重量kg：約12kg

測量工作臺

X、Y、Z每軸位移mm: 50mm

最小步距µm : 1µm

該公司產(chǎn)品分類： Pace金相加工設(shè)備太陽能電池測試儀器無損檢測儀器實驗室耗材，配件等德國BMT 汽車零部件檢測儀器德國天頂天底儀 X射線熒光光譜儀三坐標(biāo)測量儀原子力顯微鏡AFM探針臺階儀探針原子力顯微鏡光學(xué)輪廓儀臺階儀

白光干涉儀

白光干涉儀:非接觸式三維表面形狀測量儀可以沿垂直軸方向?qū)Ρ粶y物體進行掃描，它采用光學(xué)干涉技術(shù)，精密測量樣品的表面形狀分布。與共聚焦顯微鏡、調(diào)焦顯微鏡等三維表面測量技術(shù)相比，該表面形狀測量儀具有更高的垂直分辨率。

Sunny VSI三維表面形狀測量儀可安裝在配套的三維數(shù)控平臺上，實現(xiàn)橫向掃描。

系統(tǒng)構(gòu)成1）光學(xué)照明系統(tǒng)2）光學(xué)成像系統(tǒng)3）垂直掃描控制系統(tǒng)：4）信號處理系統(tǒng)：5）應(yīng)用軟件：6）顯示器

應(yīng)用領(lǐng)域LED晶片基板測量表面粗糙度/平整度分析硬盤懸臂焊接點的直徑測量太陽能電池紋理缺陷檢測

參數(shù) 白光干涉儀型號 Sunny VSI 垂直測量分辨率 0.05um 橫向測量分辨率 2.767um/plxels 圖像分辨率 768*576 plxels 掃描體積 2.125mm*1.593mm*100um 均方根值重復(fù)精度 <0.5nm

白光干涉儀網(wǎng)址 www.-china.com

該公司產(chǎn)品分類： UNION顯微鏡元件表面溫度測試滲透探傷納米CT 芯片推拉力測試儀激光測振儀

WLIRing德國BMT WLIRing 白光干涉儀

德國BMT WLIRing 干涉儀

德國BMT WLIRing 干涉儀該測量系統(tǒng)用于快速準(zhǔn)確測量圓柱形工件的表面形貌，計算粗糙度參數(shù)，微型結(jié)構(gòu)，及內(nèi)外部表面特征。

特點

l 對內(nèi)外層都可進行測量

l 光滑粗糙表面都可進行測量

l 測量結(jié)果不受工件的顏色和材料影響

l 數(shù)秒內(nèi)進行快速測量

l 用于在線測量的OEM測量頭

技術(shù)參數(shù)

測量頭

l 光源：LED

l 垂直分辨率（nm）：<1

l 水平分辨率（μm）：≥1

l 焦距，大約（mm）：1

l 測量區(qū)域的尺寸：由物體決定

l 圖像尺寸（Pixel）：1000×1000

移動平臺

l Z軸（mm）：10～50

l 步進速度（μm/min）：1

該公司產(chǎn)品分類：白光干涉測厚儀硬度計拉力試驗機片劑硬度儀反應(yīng)釜、反應(yīng)器潤滑油檢測儀光學(xué)計量儀器在線流量計火焰蔓延性能測定儀熱防護（輻射）性能測定儀抗融儀熱傳導(dǎo)性能測定儀燃燒試驗箱在線粘度計導(dǎo)熱儀、熱導(dǎo)儀粘度計金屬檢測機其它行業(yè)專用介電常數(shù)測定儀光學(xué)表面分析儀

白光干涉儀AE-100M/萬濠白光干涉儀

的3D圖形處理與分析軟體（Post Topo）：● 提供3D圖形處理與分析● 提供自動表面平整化處理功能● 提供高階標(biāo)準(zhǔn)片的軟件自校功能● 深度、高度分析功能提供線性分析與區(qū)域分析等兩種方式● 線性分析方式提供直接追溯ISO定義的表面粗糙度（Roughness）與起伏度● （waviness）的測量分析。可提供多達(dá)17種的ISO量測參數(shù)與4種額外量測數(shù)據(jù)（Wafer）● 區(qū)域分析方式提供圖形分析與統(tǒng)計分析● 具有平滑化、銳化與數(shù)字過濾波等多種二維快速利葉轉(zhuǎn)換（FFT）處理功能● 量測分析結(jié)果以BMP等多種圖形檔案格式輸出或是Excel文本文件格式輸出

型號	AE-100M
移動臺(mm)	平臺尺寸100100 ，行程1313
物鏡放大倍率	10X	20X	50X
觀察與量測范圍(mm)	0.43*0.32	0.21*0.16	0.088*0.066
光學(xué)分辨力(μm)	0.92	0.69	0.5
收光角度(Degrees)	17	23	33
工作距離	7.4	4.7	3.4
傳感器分辨率	640*480像素
機臺重量(kg)/載重kg	20kg/小于1kg
Z軸移動范圍	45mm , 手動細(xì)調(diào)
Z軸位置數(shù)字顯示器	分辨力1μm
傾斜調(diào)整平臺	雙軸/手動調(diào)整
高度測量
測量范圍	100(μm)(400μm ,選配)
量測分辨力	0.1nm
重復(fù)精度	≤ 0.1％ (量測高度:>10μm)
	≤10nm(量測高度1μm 10μm)
	≤ 5nm(量測高度:<1μm )
量測控制	自動
掃描速度(μm/s)	12(高)
光源
光源類型	儀器用鹵素（冷）光源
平均使用壽	1000小時100W 500小時（150W）
光強度調(diào)整	自動/手動
數(shù)據(jù)處理與顯示用計算機
中央處理運算屏幕	雙核心以上CPU
影像與數(shù)據(jù)顯示屏幕	17 " 雙晶屏幕
操作系統(tǒng)	Windows XP(2)
電源與環(huán)境要求	AC100 －－240 V 50-60Hz
環(huán)境振動	VC-C等以上
測量分析軟件
量測軟件ImgScan	ImgScan測量軟件：具VSI/ PVSI/PSI 測量模式（PSI量測模式需另選配PSI模塊搭配）
分析軟件PosTopo	ISO 粗燥度/階高分析，快速傳利葉轉(zhuǎn)換和濾波，多樣的2D和3D 觀測視角圖，外形/面積/體積分析，圖像縮放、標(biāo)準(zhǔn)影像文件格式轉(zhuǎn)換報表輸出，程序教導(dǎo)測量等。

SuperView W1光學(xué)3D表面輪廓儀，白光干涉儀，非接觸式三維表面輪廓儀

一、產(chǎn)品描述

獲取報價請電議，或者訪問中圖儀器與我們?nèi)〉寐?lián)系，http://www.chotest.com　　SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀是一款用于對各種精密器件表面進行亞納米測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌的3D測量的光學(xué)檢測儀器。

SuperView W1 1200光學(xué)3D表面輪廓儀只需操作者裝好被測器件，在軟件測量界面上設(shè)置好視場參數(shù)，調(diào)整鏡頭到接近器件表面，選擇自動聚焦，儀器會對器件表面進行自動對焦并找到干涉條紋，調(diào)節(jié)好干涉條紋寬度后即可開始進行掃描測量；掃描結(jié)束后，軟件分析界面自動生成器件3D圖像，操作者可通過軟件對生成的3D形貌進行數(shù)據(jù)處理與分析，獲取表征器件表面線、面粗糙度和輪廓的2D、3D參數(shù)。

SuperView W1 1200 光學(xué)3D表面輪廓儀采用光學(xué)非接觸式測量方法，它具有測量精度高、使用方便、分析功能強大、測量參數(shù)齊全等優(yōu)點，其光源模式保證了它能夠適用于從光滑到粗糙等各種精密器件的表面質(zhì)量檢測。

系統(tǒng)軟件為簡體中文操作系統(tǒng)，操作方便。

二、產(chǎn)品功能

1．行業(yè)域和應(yīng)用對象

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

該公司產(chǎn)品分類：粗糙度輪廓儀晶圓形貌測量系統(tǒng) 測長機臺階儀圖像尺寸測量儀晶圓形貌測量系統(tǒng) 半導(dǎo)體業(yè)檢測設(shè)備顯微尺寸測量儀測長機一鍵閃測儀光學(xué)影像測量儀二次元影像測量儀機床測頭在機測量系統(tǒng) 激光測長機光柵測長機三坐標(biāo)測量機激光干涉儀激光跟蹤儀激光測量儀